其中W和W0分别为初始位置对应的待测非球面和参考光的波前,Δ是光程差,由此可以获得当前子孔径的数据并求取每一个点的坐标(h,z)。
为了得到坐标,还需要知道每一个位置法线与光轴的夹角,如图1.6(b),由光学系统的成像原理,我们有:
其中x为采集的干涉图中零位环到中心的长度,r0是干涉图的大小。由此我们可以得到夹角:
为了计算得到法线周围其他位置点的矢高坐标,成光所使用的是梯形法则,即:
以第一个子孔径坐标为基准,利用(1.6)和(1.7)进行迭代计算,就能够恢复其形貌,但是重复迭代的累积误差会对最终结果造成影响
环域数据的非球面检测方法国内外现状及发展趋势(2):http://www.chuibin.com/yanjiu/lunwen_205569.html